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T/CEMIA 030-2022 半導(dǎo)體用正膠顯影液 - 四甲基氫氧化銨含量、碳酸根離子的檢驗(yàn)
來(lái)源: | 來(lái)源:KEM China | 發(fā)布時(shí)間 :2024-06-21 | 366 次瀏覽: | 分享到:
京都電子KEM 高精密度自動(dòng)電位滴定儀 AT-710S 運(yùn)用于半導(dǎo)體用正膠顯影液 甲基氫氧化銨含量、碳酸根離子的檢驗(yàn)

T/CEMIA 030-2022 半導(dǎo)體用正膠顯影液

●范圍
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體用正膠顯影液的術(shù)語(yǔ)和定義、縮略語(yǔ)、分類、要求、檢驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存和安全。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體用正膠顯影液,其主要組分為通過(guò)季銨鹽化合物電解制得的四甲基氫氧化銨。

●術(shù)語(yǔ)和定義
本文件沒(méi)有需要界定的術(shù)語(yǔ)和定義。

●縮略語(yǔ)
下列縮略語(yǔ)適用于本文件。
PFA:四氟乙烯—全氟烷氧基乙烯基醚共聚物,又稱過(guò)氟烷基化物,可溶性聚四氟乙烯。

分類
按照四甲基氫氧化銨的含量進(jìn)行分類,可分為c-a(四甲基氫氧化銨含量≥20.00%的半導(dǎo)體用正膠顯影液),c-b(四甲基氫氧化銨含量≤5%的半導(dǎo)體用正膠顯影液)。

●要求
外觀
無(wú)色透明液體。
主要化學(xué)成分
半導(dǎo)體用正膠顯影液的主要化學(xué)成分應(yīng)符合表1的規(guī)定。
表1.jpg

●色度
半導(dǎo)體用正膠顯影液的色度應(yīng)不大于5Hazen單位(Pt-Co色號(hào))。
顆粒數(shù)
半導(dǎo)體用正膠顯影液的顆粒數(shù)應(yīng)符合表2的規(guī)定。
表2.jpg

●甲醇
半導(dǎo)體用正膠顯影液的甲醇含量應(yīng)符合表3的規(guī)定。
表3.jpg

●陰離子雜質(zhì)含量
半導(dǎo)體用正膠顯影液的陰離子雜質(zhì)含量應(yīng)符合表4的規(guī)定。
表4.jpg

●金屬雜質(zhì)含量
半導(dǎo)體用正膠顯影液的金屬雜質(zhì)含量應(yīng)符合表5的規(guī)定。
表5.jpg

表5續(xù).jpg

●表面張力
c-b的表面張力指標(biāo)管控可由供應(yīng)商與客戶協(xié)商決定。

●檢驗(yàn)方法
四甲基氫氧化銨含量
按 SJ/T 11636 的規(guī)定進(jìn)行。

相關(guān)鏈接↓:

SJ/T 11636-2016 電子工業(yè)用顯影液中四甲基氫氧化銨的測(cè)定 自動(dòng)電位滴定法

碳酸根離子
按 SJ/T 11635 的規(guī)定進(jìn)行。

相關(guān)鏈接↓:

SJ/T 11635-2016 電子工業(yè)用顯影液中碳酸根離子的測(cè)定 自動(dòng)電位滴定法


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